圧力センサーは小型でコンパクトな設計を採用しており、高安定性の単結晶シリコンチップが316Lステンレス鋼基板に封入されています。測定対象の媒体の圧力はステンレス鋼ダイヤフラムとシリコンオイルを通じて単結晶シリコンチップに伝達され、圧力測定が実現されます。測定プロセスにおいて単結晶シリコンチップは測定対象媒体と直接接触せず、遮断構造を形成しています。これにより、さまざまなタイプの測定対象媒体に対応可能で、防爆要求にも適合しています。ダイヤフラム材質は316L、ハステロイCから選択可能で、測定範囲は最大40MPaです。